质量流量节造器,即Mass Flow Controller（缩写为MFC）,不只拥有质量流量计的职能，更沉要的是，它能自动节造气体流量，即用户可凭据必要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即便系统压力有颠簸或环境温杜仔变动，也不会使其偏离设定值。单一地说,质量流量节造器就是一个稳流装置,是一个能够手动设定或与推算机联接自动节造的气体稳流装置。

　　气体质量流量节造器由流量传感器、分流器通路、流量调节阀门和放大节造器等部门组成。气体流量传感器选取毛细管传热温差量热法道理丈量气体的质量流量(无需温度压力赔偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比力,再将差值信号放大后去节造调节阀门，关环节造流过通路的流量使之与设定的流量相称。分流器决定主通路的流量。与质量流量节造器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表,设定电位器,表设、内设转换和三位阀控开关等。

　　通常而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；必要对流量进行节造时，用质量流量节造器。某些丈量场所，用二者皆可，如对毛细管流通能力的丈量,当定压测流的时辰,用质量流量计;当定流测压时,必要用质量流量节造器。把稳,当质量流量节造器处于洗濯状态时,也能够当质量流量计使用,只不外气压降要比通常质量流量计大一些。